WEKO3
アイテム
Pressure dependence of current-voltage characteristics of a thin hole hollow cathode
https://doi.org/10.14988/0002000181
https://doi.org/10.14988/00020001816cd26534-9e03-4d46-833a-aff0708e2f29
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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023064040004.pdf (844.9KB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2023-12-27 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Pressure dependence of current-voltage characteristics of a thin hole hollow cathode | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題 | plasma process, hollow cathode, TiO2 | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||||
| ID登録 | 10.14988/0002000181 | |||||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||
| 著者 |
Montallana, Arantxa Danielle S.
× Montallana, Arantxa Danielle S.× Vasquez, Magdaleno R., Jr.
WEKO
2303
× 和田, 元
WEKO
15436
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| 著者所属 | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 値 | Montallana, Arantxa Danielle S. / 同志社大学理工学研究科電気電子工学専攻 | |||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 値 | Vasquez, Magdaleno R., Jr. / フィリピン大学ディリマン校准教授 | |||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 値 | Wada, Motoi / 同志社大学理工学部電気工学科教授 | |||||||||||||
| 著者所属（英） | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 値 | Montallana, Arantxa Danielle S. / Graduate School of Science and Engineering, Doshisha University | |||||||||||||
| 著者所属（英） | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 値 | Vasquez, Magdaleno R., Jr. / Department of Mining, Metallurgical, and Materials Engineering, College of Engineering, University of the Philippines | |||||||||||||
| 著者所属（英） | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 値 | Wada, Motoi / Graduate School of Science and Engineering, Doshisha University | |||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | チタニア(TiO2)ナノ構造がプラズマに基づいた合成過程により実現可能である．真空装置への複雑なチタニア粉末の導入に基づいた生成過程ではなく，純粋チタン陰極からの直接スパッター法により，TiO2薄膜を形成する方法も有効と考えられる．12mm長，0.7mm系の細孔を有する直径12mmのチタン電極を用いて，圧力10から100Paのアルゴン雰囲気化で安定に放電形成することができた．薄膜形成系に本電極を挿入することによって得られる粒子フラックスを評価し，また装置の運転状態を，薄膜堆積ターゲットを模した電極を挿入して電流電圧特性を得ることによってモニターすることの有効性について調査した． | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | A Ti hollow cathode electrode with a 0.7 mm aperture was designed to examine its performance in Ar discharge production and its potential as a sputter source for the formation of TiO2. The electrode demonstrated excellent stability against high-voltage break down and was able to sustain Ar discharge in the pressure range from 10 to 100 Pa. The steady state production of metallic particle flux is expected with enough cathode voltage to ensure a necessary sputtering yield. The source can generate the sputtered atom flux of the order of one monolayer per second and can serve as the Ti source for TiO2 atomic layer film preparation. | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||
| 内容記述 | 原著論文 | |||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||
| 内容記述 | This work was supported in part by grants-in-aid for division research from the Harris Science Research Institute of Doshisha University. | |||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 同志社大学ハリス理化学研究報告 en : The Harris science review of Doshisha University 巻 64, 号 4, p. 191-197, 発行日 2024-01 |
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| 出版者 | ||||||||||||||
| 出版者 | 同志社大学ハリス理化学研究所 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 出版者（英） | ||||||||||||||
| 出版者 | Harris Science Research Institute of Doshisha University | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 21895937 | |||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
| 収録物識別子 | AA12716107 | |||||||||||||
| 権利者情報 | ||||||||||||||
| 権利者識別子Scheme | AID | |||||||||||||
| 権利者識別子URI | https://ci.nii.ac.jp/author/DA18202107 | |||||||||||||
| 権利者識別子 | DA18202107 | |||||||||||||
| 権利者名 | 同志社大学ハリス理化学研究所 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 権利者名 | Harris Science Research Institute of Doshisha University | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||
| 主題 | 565.54 | |||||||||||||
| 研究代表者 | ||||||||||||||
| 寄与者タイプ | ProjectLeader | |||||||||||||
| 寄与者識別子Scheme | WEKO | |||||||||||||
| 寄与者識別子 | 15436 | |||||||||||||
| 寄与者識別子Scheme | CiNii ID | |||||||||||||
| 寄与者識別子URI | http://ci.nii.ac.jp/nrid/1000030201263 | |||||||||||||
| 寄与者識別子 | 1000030201263 | |||||||||||||
| 寄与者識別子Scheme | e-Rad_Researcher | |||||||||||||
| 寄与者識別子URI | https://kaken.nii.ac.jp/ja/search/?qm=30201263 | |||||||||||||
| 寄与者識別子 | 30201263 | |||||||||||||
| 寄与者識別子Scheme | ORCID | |||||||||||||
| 寄与者識別子URI | https://orcid.org/0000-0001-9611-2004 | |||||||||||||
| 寄与者識別子 | 0000-0001-9611-2004 | |||||||||||||
| 寄与者識別子Scheme | AID | |||||||||||||
| 寄与者識別子URI | https://ci.nii.ac.jp/author/DA16505174 | |||||||||||||
| 寄与者識別子 | DA16505174 | |||||||||||||
| 姓名 | Wada, Motoi | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 姓名 | 和田, 元 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 姓名 | ワダ, モトイ | |||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||
| 研究分担者 | ||||||||||||||
| 寄与者タイプ | ProjectMember | |||||||||||||
| 寄与者識別子Scheme | WEKO | |||||||||||||
| 寄与者識別子 | 17144 | |||||||||||||
| 寄与者識別子Scheme | CiNii ID | |||||||||||||
| 寄与者識別子URI | http://ci.nii.ac.jp/nrid/1000010389009 | |||||||||||||
| 寄与者識別子 | 1000010389009 | |||||||||||||
| 寄与者識別子Scheme | e-Rad_Researcher | |||||||||||||
| 寄与者識別子URI | https://kaken.nii.ac.jp/ja/search/?qm=10389009 | |||||||||||||
| 寄与者識別子 | 10389009 | |||||||||||||
| 姓名 | Kenmotsu, Takahiro | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 姓名 | 剣持, 貴弘 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 姓名 | ケンモツ, タカヒロ | |||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||
| 助成情報 | ||||||||||||||
| 識別子タイプ | Crossref Funder | |||||||||||||
| 助成機関識別子 | https://doi.org/10.13039/501100001691 | |||||||||||||
| 助成機関名 | 日本学術振興会 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 助成機関名 | Japan Society for the Promotion of Science | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 研究課題番号URI | https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-23K25855/2023/ | |||||||||||||
| 研究課題番号 | JP23H01158 | |||||||||||||
| 研究課題番号タイプ | JGN | |||||||||||||
| 研究課題名 | 低エネルギー水素の固体表面反射と吸着 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 研究機関識別子種別 | ||||||||||||||
| 値 | ROR | |||||||||||||
| 研究機関識別子 | ||||||||||||||
| 値 | https://ror.org/01fxdkm29 | |||||||||||||
| 研究機関名 | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 値 | 同志社大学 | |||||||||||||
| 研究機関名（英） | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 値 | Doshisha University | |||||||||||||
