WEKO3
アイテム
Development of microwave antenna for ECR microwave plasma production
https://doi.org/10.14988/pa.2017.0000014469
https://doi.org/10.14988/pa.2017.0000014469c8723084-4d34-48b9-a248-3ee4c1d2a779
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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023057010006.pdf (773.9 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2016-05-25 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Development of microwave antenna for ECR microwave plasma production | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題 | microwave plasma, electron cyclotron resonance (ECR), carbon thin film, chemical sputtering | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||
| ID登録 | 10.14988/pa.2017.0000014469 | |||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||
| 著者 |
ロメーロ, カミール フェイス
× ロメーロ, カミール フェイス× 和田, 元
WEKO
15436
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| 著者所属（英） | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 値 | Romero, Camille Faith / Department of Electronics & Electrical Engineering, Graduate School of Science & Engineering, Doshisha University | |||||||||||
| 著者所属（英） | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 値 | Wada, Motoi / Department of Electronics & Electrical Engineering, Graduate School of Science & Engineering, Doshisha University(同志社大学理工学部電気工学科教授) | |||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||
| 内容記述 | ECRプラズマ生成のための螺旋アンテナが設計されその特性が調べられた。形状、材質、磁束密度に対しての位置という観点から調査され、その性能は反射エネルギー、プラズマの蛍光発光そしてラングミュアープローブ法を用いた測定により評価された。三種類の円筒状、円錐状、平面円状の螺旋アンテナについて実験を行った結果、平面円状の螺旋アンテナが電子サイクロトロン共鳴状態で最も高いH[α] 発光強度を示した。また、アンテナ位置[D]=50、マイクロ波周波数 [ω] < [ω][ce]の条件で、プラズマがより高輝度の蛍光発光を起こすことも観測された。ニッケル製、炭素製アンテナの比較を行った結果、ニッケル製アンテナがより高密度のプラズマを生成したが、設計された炭素製アンテナは炭素イオン、炭化水素イオンをより多く生成する炭素イオン源として有用であることが明らかになった。 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||
| 内容記述 | Spirally wound antennas for an ECR microwave plasma device have been designed and tested. The antennas were modified in terms of their structures, materials and positions with respect to the magnetic flux density. Antenna performance was assessed based on reflected power, optical emission and Langmuir probe measurements. Results indicated that among the three types of antenna structures: cylindrical, conical and planar circular coil, the last produced the highest H[α] emission intensities at ECR condition. It is also observed that launching the microwave at the distance from thee flange to the antenna surface, [D] = 50 mm where [ω] < [ω][ce], produced more intense discharge. Antennas made of nickel and carbon were compared. Though Ni antenna produced denser plasma, the carbon antenna served as an effective carbon radical source generating more carbon and hydrocarbon species． | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||
| 内容記述 | 抄録中の[D][ω][ce]は斜体文字、[α][ce]は下付き文字 | |||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 同志社大学ハリス理化学研究報告 en : The Harris science review of Doshisha University 巻 57, 号 1, p. 41-46, 発行日 2016-04-30 |
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| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | 同志社大学ハリス理化学研究所 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 出版者（英） | ||||||||||||
| 出版者 | Harris Science Research Institute of Doshisha University | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| ISSN | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||
| 収録物識別子 | 21895937 | |||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||
| 収録物識別子 | AA12716107 | |||||||||||
| 権利者情報 | ||||||||||||
| 権利者識別子Scheme | AID | |||||||||||
| 権利者識別子URI | https://ci.nii.ac.jp/author/DA18202107 | |||||||||||
| 権利者識別子 | DA18202107 | |||||||||||
| 権利者名 | 同志社大学ハリス理化学研究所 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 権利者名 | Harris Science Research Institute of Doshisha University | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||
| 関連タイプ | isFormatOf | |||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||
| 関連識別子 | https://doors.doshisha.ac.jp/opac/opac_link/bibid/SB12902196/?lang=0 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 関連名称 | 掲載刊行物所蔵情報へのリンク ／ Link to Contents | |||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||
| 主題 | 427.6 | |||||||||||
