WEKO3
アイテム
Ion energy distribution measurements of low-energy ion beams extracted from a hot cathode DC ion source
https://doi.org/10.14988/pa.2017.0000012308
https://doi.org/10.14988/pa.2017.0000012308d3103adf-c945-4d43-8263-3f9d3f6d206e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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023051040001.pdf (284.3 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-03-09 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | Ion energy distribution measurements of low-energy ion beams extracted from a hot cathode DC ion source | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題 | space-charge, ion sources, retarding potential analyzer, ion energy distribution function | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||
| ID登録 | ||||||||||
| ID登録 | 10.14988/pa.2017.0000012308 | |||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||
| アクセス権 | ||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||
| 著者 |
Vasquez, Magdaleno R., Jr.
× Vasquez, Magdaleno R., Jr.
WEKO
2303
× Kasuya, Toshiro× Maeno, Shuichi× Wada, Motoi
WEKO
15436
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| 著者所属（英） | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 値 | Vasquez, Magdaleno R., Jr. / Graduate School of Engineering, Doshisha University | |||||||||
| 著者所属（英） | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 値 | Kasuya, Toshiro / Graduate School of Engineering, Doshisha University | |||||||||
| 著者所属（英） | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 値 | Maeno, Shuichi / Novelion Systems, Co., Ltd. | |||||||||
| 著者所属（英） | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 値 | Wada, Motoi / Graduate School of Engineering, Doshisha University | |||||||||
| 抄録 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||
| 内容記述 | Ion energy distribution function (IEDF) of low-energy ion beams extracted from a hot cathode DC ion source have been measured and analyzed using a retarding potential analyzer. Measurements revealed that the height of the IEDF peaks increased in proportion to the discharge current of the ion source. In terms of downstream gas pressure, an optimum value of the height of the IEDF peak was observed at 0.13 Pa at different discharge currents. Full width at half maximum measurements showed an increase in energy spread (ΔE) with increasing discharge current. With a discharge current of 30 mA and 0.13 Pa pressure, ΔE was almost constant against the change in extraction potentials from 20 to 60 V. Typical ΔE was at most 10% of the extraction beam energy. The ion beam current density was in the mA/cm2 range. | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 書誌情報 |
ja : 同志社大学理工学研究報告 en : The Science and Engineering Review of Doshisha University 巻 51, 号 4, p. 1-7, 発行日 2011-01-31 |
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| 出版者 | ||||||||||
| 出版者 | 同志社大学理工学研究所 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 出版者（英） | ||||||||||
| 出版者 | Science and Engineering Research Institute of Doshisha University | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| ISSN | ||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||
| 収録物識別子 | 00368172 | |||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||
| 収録物識別子 | AN00165868 | |||||||||
| 権利者情報 | ||||||||||
| 権利者識別子Scheme | AID | |||||||||
| 権利者識別子URI | https://ci.nii.ac.jp/author/DA03974933 | |||||||||
| 権利者識別子 | DA03974933 | |||||||||
| 権利者名 | 同志社大学理工学研究所 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 権利者名 | Science and Engineering Research Institute of Doshisha University | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 関連サイト | ||||||||||
| 関連タイプ | isFormatOf | |||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||
| 関連識別子 | https://doors.doshisha.ac.jp/opac/opac_link/bibid/SB00960326/?lang=0 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 関連名称 | 掲載刊行物所蔵情報へのリンク ／ Link to Contents | |||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||
| 主題 | 549.1 | |||||||||
