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超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータにおける微小振れに関する検討
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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023048040003.pdf (517.0 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2008-02-06 | |||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | 超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータにおける微小振れに関する検討 | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | チョウ セイミツ イチギメヨウ クウキアツ サーボ ジクウケ アクチュエータ ニオケル ビショウフレ ニ カンスル ケントウ | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Nano-fluctuation of Pneumatic Servo Bearing Actuator for Ultraprecise Positioning | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 静圧軸受, 微小振れ, 表面絞り, 超精密位置決め, 空気圧サーボアクチュエータ Aerostatic bearing, Nano-fluctuation, Surface-restriction, Ultraprecise positioning, Pneumatic servo actuator |
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| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||||||||||||||||
| ID登録 | 10.14988/pa.2017.0000011308 | |||||||||||||||||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
北川, 貴一
× 北川, 貴一× 平山, 朋子
WEKO
15588
× 松岡, 敬
WEKO
3552
× 角谷, 雅人× 檀上, 弥輝× 佐々木, 勝美× 矢部, 寛
WEKO
15805
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| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| 値 | 北川, 貴一 / Department of Mechanical Engineering, Doshisha University | |||||||||||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| 値 | 平山, 朋子 / Department of Mechanical Engineering, Doshisha University | |||||||||||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| 値 | 松岡, 敬 / Department of Mechanical Engineering, Doshisha University | |||||||||||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| 値 | 角谷, 雅人 / Department of Mechanical Engineering, Doshisha University | |||||||||||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| 値 | 檀上, 弥輝 / Department of Mechanical Engineering, Doshisha University | |||||||||||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| 値 | 佐々木, 勝美 / Pneumatic Servo Controls, Ltd. | |||||||||||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| 値 | 矢部, 寛 / Department of Mechanical Engineering, Osaka Electro-Communication University | |||||||||||||||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | 超精密位置決め用の空気圧サーボ弁と静圧軸受から成る新しいアクチュエータ'空気圧サーボ軸受アクチュエータ'を提案している。このアクチュエータは空気圧サーボ弁によって給気圧力を制御することによって、超精密位置決めを実現することが可能である。しかしながら、一般的に静圧軸受は減衰能が小さい為に支持物体が微小に振動するという報告がなされている。そこで、提案しているアクチュエータの高信頼性を実現する為に軸受の微小振れを低減する必要がある。本研究では静圧軸受における微小振れの主な要因の検討と、その微小振れを低減させる軸受形状・作動条件を提案した。結果から、微小振れの大きさを明確にし、多連構造にすることでさらに微小振れを低減できることを示した。 | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | A new actuator 'pneumatic servo bearing actuator' consists of aerostatic bearing and pneumatic servo valve has been proposed for ultraprecise positioning. The actuator can realize the ultraprecise positioning by controlling inlet air pressure by pneumatic servo valve. However, it has been reported that aerostatic bearings bring nano-fluctuations of supported object because of their small damping abilities. Therefore, to prove the high reliability of the proposed actuator, nano-fluctuations of the bearing have to be reduced as much as possible. In this paper, the order of nano-fluctuations occurring in the aerostatic bearing and its conditions were investigated, and the design of the pneumatic servo bearing actuator with smaller fluctuations was presented. As a result, the amount of nano-fluctuations was clarified, where the laminate type mechanism was proposed to reduce the nano-fluctuations in greater-extend. | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 同志社大学理工学研究報告 en : The Science and Engineering Review of Doshisha University 巻 48, 号 4, p. 234-240, 発行日 2008-01-31 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 同志社大学理工学研究所 | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| 出版者（英） | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | Science and Engineering Research Institute of Doshisha University | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 00368172 | |||||||||||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AN00165868 | |||||||||||||||||||||||||
| 権利者情報 | ||||||||||||||||||||||||||
| 権利者識別子Scheme | AID | |||||||||||||||||||||||||
| 権利者識別子URI | https://ci.nii.ac.jp/author/DA03974933 | |||||||||||||||||||||||||
| 権利者識別子 | DA03974933 | |||||||||||||||||||||||||
| 権利者名 | 同志社大学理工学研究所 | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| 権利者名 | Science and Engineering Research Institute of Doshisha University | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isFormatOf | |||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://doors.doshisha.ac.jp/opac/opac_link/bibid/SB00960326/?lang=0 | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| 関連名称 | 掲載刊行物所蔵情報へのリンク ／ Link to Contents | |||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 535 | |||||||||||||||||||||||||
