WEKO3
アイテム
RFプラズマCVD法を用いてPPS上に形成したDLC膜の機械的特性
https://doi.org/10.14988/pa.2017.0000011241
https://doi.org/10.14988/pa.2017.0000011241ec9781b2-fef2-4886-8362-83eca56e3265
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
023048030001.pdf (3.4 MB)
|
|
| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2007-11-05 | |||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||
| タイトル | RFプラズマCVD法を用いてPPS上に形成したDLC膜の機械的特性 | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||
| タイトル | RFプラズマCVDホウ オ モチイテ PPSジョウ ニ ケイセイ シタ DLCマク ノ キカイテキ トクセイ | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Mechanical Properties of DLC Coatings Prepared on PPS by RF Plasma CVD | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 表面性状, 硬さ, 密着性, 摩擦摩耗特性 DLC, PPS, Surface morphology, Hardness, Adhesion, Tribological property |
|||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||||||||||||||
| ID登録 | 10.14988/pa.2017.0000011241 | |||||||||||||||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||||||||||
| 著者 |
本多, 統
× 本多, 統× 中村, 守正
WEKO
2123
× 松岡, 敬
WEKO
3552
× 平山, 朋子
WEKO
15588
|
|||||||||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
| 値 | 本多, 統 / Graduate Student, Department of Mechanical Engineering, Graduate School, Doshisha University | |||||||||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
| 値 | 中村, 守正 / Department of Mechanical Engineering, Graduate School, Doshisha University | |||||||||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
| 値 | 松岡, 敬 / Department of Mechanical and Systems Engineering, Doshisha University | |||||||||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
| 値 | 平山, 朋子 / Department of Energy and Mechanical Engineering, Doshisha University | |||||||||||||||||||||||
| 著者所属（英） | ||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| 値 | Doshisha University | |||||||||||||||||||||||
| 所属機関識別子種別 | ||||||||||||||||||||||||
| 値 | kakenhi | |||||||||||||||||||||||
| 所属機関識別子 | ||||||||||||||||||||||||
| 値 | 34310 | |||||||||||||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | 本論文では、RFプラズマCVD法を用いてPPS(ポリフェニレンサルファイド)上にDLC膜の形成を報告した。基板の表面粗さは,おおよそRa0.1mmに調製され、100から400Wの異なるRF出力で4つのタイプの試料が準備された。膜厚は2.0mmに制御された。皮膜構造や粗さは、ラマン分光分析や表面粗さ測定、SEMによる表面観察、硬さ試験、スクラッチ試験により評価された。摩擦/摩耗特性はボールオンディスク摩擦試験機にて評価された。SUS304、SUJ2、ZrO2、そしてSi3N4のボールが摩擦試験の相手材に使われた。摩擦試験後、試料と相手材の摩擦係数や比摩耗量が計算された。RaはRF出力300Wまでは減少したが、400WのRaは300Wよりも皮膜表面の亀裂のために大きかった。ダイナミック硬さは、RF出力の増加に伴い増大した。RF300WのDLC膜の密着性は最も良好であったが、付着力は400Wの方が良いようであった。RF300Wおよび400WのDLC膜は、相手材料にかかわらず、比摩耗量が少なかった。 | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | In this paper, we report DLC coatings prepared on PPS (polyphenylene sulfide) substrate by RF plasma CVD technique. The substrate surface roughness was controlled to approximately Ra 0.1μm and four types of specimen were prepared under different RF power, from 100W to 400W. The coating thickness was controlled to 2.0μm. Structures and surface properties of the coatings were evaluated by raman spectroscopy, surface roughness test, surface observation using SEM, hardness test, and scratch test. Friction/wear properties were evaluated by ball-on-disk tribometer. SUS304, SUJ2, ZrO2 and Si3N4 ball were used as sliding partner of the friction test. After the friction test, friction coefficient and specific wear rate of each specimen were calculated. Surface roughness Ra decreased with RF power to 300W, however Ra of RF 400W DLC was higher than that of RF 300W because of number of cracks on RF 400W DLC. Dynamic hardness increased with RF power. Adhesiveness of RF 300W DLC was the best, however strength of adhesion seemed to be better than RF 300W DLC. Specific wear rates of RF300W and 400W DLC were found to be small in spite of ball material of sliding partner. | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 同志社大学理工学研究報告 en : The Science and Engineering Review of Doshisha University 巻 48, 号 3, p. [127]-133, 発行日 2007-10-31 |
|||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 同志社大学理工学研究所 | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
| 出版者（英） | ||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | Science and Engineering Research Institute of Doshisha University | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 00368172 | |||||||||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AN00165868 | |||||||||||||||||||||||
| 権利者情報 | ||||||||||||||||||||||||
| 権利者識別子Scheme | AID | |||||||||||||||||||||||
| 権利者識別子 | DA03974933 | |||||||||||||||||||||||
| 権利者名 | 同志社大学理工学研究所 | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
| 権利者名 | Science and Engineering Research Institute of Doshisha University | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isFormatOf | |||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://doors.doshisha.ac.jp/opac/opac_link/bibid/SB00960326/?lang=0 | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
| 関連名称 | 掲載刊行物所蔵情報へのリンク ／ Link to Contents | |||||||||||||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||
| 主題 | 501.48 | |||||||||||||||||||||||
